半导体晶圆自动清洗设备的主要部件的设计_斗牛游戏

本文摘要:上一期介绍了《四种半导体硅片清除设备及装置》,那么去除设备内部的结构又是什么样的结构呢?

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上一期介绍了《四种半导体硅片清除设备及装置》,那么去除设备内部的结构又是什么样的结构呢?今天有一种设计,可以考虑半导体晶片自动清除设备的主要部件。一、冷却酸槽设计半导体去除工艺中,部分化学试剂在处置晶圆时对温度有拒绝,一般必须展开冷却。例如,SC1、SC2在RAC去除过程中,温度应拒绝为70 ~ 80。我们在自由选择这些冷却酸槽材料时,通常与石英材料一起使用。

冷却槽通常由石英槽、加热器、水位保护装置、温度检测装置、排气装置和电气控制装置等主要部分组成。我们设计的加热器是内置的投入式的,所以对加热器选择的拒绝度低,不仅耐酸,而且还能抵御高温。我们选择的加热器的所有冷却电线及其导线都用PFA覆盖,外包的PFA材料非常干净,会污染酸液。

加热器的冷却功率是根据水箱的体积选择的。加热器是放置罐的底部,所以液位保护装置是最重要的。

液位保护装置主要用于检测石英罐内是否有酸液,防止加热器在没有酸液的情况下工作,再次发生危险。温度检测装置主要用作检测石英罐酸液的温度,将检测到的温度信号交给温度测量仪,由温度调节器构建温度控制。对于废酸的尾气,基本上有两种不同的方法。

可以由底部气动阀门控制,也可以由射流溶解废气。其次,QDR设计QDR(QuickDumpRinser) QDR是晶片湿法去除中最重要的去除过程模块,是去除过程中不可缺少的过程,直接影响晶片的最终去除效果。QDR由内外槽、上喷涂管道、下喷涂管道、慢排气阀和控制部分组成。

喷射线共2度,构成交叉喷射,但离子水不需要喷射修正源表面。这是因为晶圆不易产生水腐蚀所需的喷射晶圆表面,产生微尘泥,所以容易污染晶圆表面。因此,在离子水的喷射过程中,要清洗水压、数量、方向和角度,超过微尘污染少的最佳效果。

更好的燃烧室的喷射范围包括所有的修正源和箱子。不合适的喷雾形状不包括所有的晶圆和箱子,没有用喷雾冲洗的死角、微粒、杂质、化学药品残留含量仍然较高,有较好的去除效果。

在喷射的过程中,污水管道路由底部两侧的水大量流入,然后从内部插槽沿四周堵塞,使各结晶板缝隙和各角落的去离子水能够反向修正。(威廉莎士比亚、温德萨默、老鹰、老鹰、离子、离子、离子、离子、离子、离子)同时,干净的氮从下部喷雾管道转移到水箱中。氮鼓泡有以下作用:(1)减少脱离子水的精炼力,对水箱本身具有良好的自身去除力。(2)受精卵在水里颤抖,不粘泡沫,提高现象效果。

(3)增加离子水的氧气含量,防止氧化物在晶圆表面分解。QDR喷雾灌溉时间和灌溉时间对施肥源去除质量有相当大的影响。由于晶圆表面暴露在空气中不能知道空气中的氧分子或水汽,因此常温下一层外壳不生长的水解层(约0.5 ~ 1nm)与暴露在空气中的时间有关,因此喷射灌溉时间变宽,晶圆暴露在空气中的时间变宽,构成了水解层,QDR灌溉时间越高,灌溉流速越大,离子水对去除晶圆表面的细微杂质越不利。

因此,在QDR设计中,要尽量延长喷雾灌溉时间和灌溉时间,快速分类,不提高整体效率。(威廉莎士比亚、斯图尔特、Stewart)第三,传动系统设计传动系统是全自动清洗机区分手动清洗机的最核心部分,该系统在电气系统的控制下建立了晶片工艺去除的自动化。传动系统的性能必须要求全自动清洗机的整体工作效率和工作的稳定性、可靠性等。传动系统由X和Y方向组成,通过PLC程序控制,可以轻松灵活地配置X和Y方向的运动。

x方向由伺服电动机、减速器、LM直线导轨、齿轮齿条和连接块等组成。由伺服电机驱动,通过减速器、齿轮齿条、连接的块传动,构成机械臂和机器人整个X方向的运动。此方向运动用于将长方体准确地移动到每个清理站位置。

X方向配有与原点几乎相连的电源,机器人手臂位于X方向的下一个方向点,左右两侧各配有与极限几乎相连的电源,可防止机器人手臂与主体碰撞,再次出现危险。y方向由机械臂、机械臂、控制器驱动系统和连接的块等组成。机器人用作箱子提取,通过X,Y方向的导引运动构建。机器人手臂是由伺服电动机、圆轴钢丝条、导向装置、低刚度框架等组成的机器人的上下运动。

控制器驱动系统与PLC一起控制Y方向的运动。Y方向设有与原点几乎连接的电源,机器人手臂位于Y方向的连续方向点,上、下两侧分别设有与极限几乎连接的电源,防止机器人手臂与主体碰撞,再次出现危险。传动系统各方面的性能对保证整个设备的稳定性和可靠性至关重要。主要通过以下(1)运动的稳定性;(2)运动的准确性;(3)变速器结构的刚度;(4)运动速度和运动的柔软度。

第四,电气控制系统设计电气控制系统是整个设备最重要的部分,在每个拆卸槽调整变速器系统的运动时机,控制阀门,拆卸过程模块的工作状态。它必须与设备的长期使用、保障和生产力有关。整个控制系统以可编程控制器(PLC)C2 OHG为核心,触摸屏作为人机界面,AC伺服系统作为晶片位移的执行机构。

1、电气控制系统的包括控制箱和传感器、电磁阀等。控制箱垂直,安装在设备主体左侧,密封,以避免山雾生锈的电气部件。控制箱箱箱包含电源开关、控制器控制系统、PLC和接线端子等。

在控制箱前面,控制面板安装控制面板上面安装了操作员电源、蜂鸣器、指示灯、触摸屏、温度调节器等。2.程序控制该装置可以通过PLC、触摸屏、控制器模块程序的有效融合,通过建立传动系统的传导工作,转换为手动/自动操作员方式。触摸屏上有手动操作者面板,可以创建适当的手动操作者。

每个插槽拆卸过程时间可以在触摸屏上设置。系统可以编译和保存多个流程程序,并根据需要进行更改。3、具有声光报警功能的安全装置。

故障时设备警报,触摸屏出现错误消息时,按紧急停止按钮,所有动作都将暂停。解决问题后,按下“废面”按钮即可返回初始状态。

设备前部配有半透明有机玻璃滑动门,防止酸液飞溅。

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